个人情况
姓 名：许开东
邮 箱：kaidong.xu@leuven-instruments.com
学 历：博士
研究方向：1.集成电路工艺和设备相关研究；2.半导体光电材料、器件研究
简 历：
许开东，教授，博导。集成电路制造行业专家，现任江苏鲁汶仪器有限公司董事长兼总经理，中国科学院微电子研究所客座研究员，国家级专家人才。出生于1977年，1999年获北京大学化学专业学士学位，2004年获比利时鲁汶大学（Catholic University of Leuven）化学专业博士学位。目前，针对半导体装备制造和刻蚀工艺等关键技术领域展开攻坚，解决新式存储器实现大规模量产的刻蚀难题。
教育经历
博士：1999年- 2004年，比利时鲁汶大学，化学博士
本科：1995年- 1999年，北京大学，化学学士
工作经历
2004-2010年，科林研发（Lam）项目经理、湿法清洗部门经理
2010-2015年，欧洲微电子研究中心(IMEC)等离子刻蚀研发部门经理
2015-至今，江苏鲁汶仪器有限公司，董事长兼总经理
2018-至今，江苏师范大学教授
讲授课程
半导体设备与工艺相关讲座
研究生培养基础要求
1. 具有良好的思想道德水平，做事认真、勤奋刻苦，学习和适应能力强；
2. 对半导体材料、工艺和设备相关研究和科研工作有浓厚兴趣，热爱创新工作。
代表性论文
1. Xu Kaidong*, Hu Dongdong, Che Dongche, Sun Hongyue, Mikhal. R. Baklanov,Tang Jiale, Zhuang Shiwei, Chen Lu; A Patterning Solution by Utilizing Combined Etching for STT-MRAM，IEDM, San-Francisco, USA, 2018-12-3至2018-12-5.
2. Xu Kaidong, Pichler Stefan, Wostyn Kurt, Cado Geiwado, Springer Climent*, Gale Glenn, Dalmer Michael, Mertens Paul, Bearda Twan, Gaulhofer Ernst, Podlesnik Dragan; Removal of Nano-particles by Aerosol Spray: Effect of Droplet Size and Velocity on Cleaning Performance， Solid State Phenomena, 2009, 145-146: 31-34.
3. Xu Kaidong*, Lauwers Ann, Vos Rita, Archer Leo, Kraus Harald, Demeurisse, Merterns Sofie Christeen, Mertens Paul, Henry Sally-Ann, Gale Glenn, Kovacs Frederic, Dalmer Michael, Gaulhofer Ernst; Post Salicidation Clean: Selective Removal of Un-reacted NiPt towards NiPtSi(Ge), ECS Transactions, 2007,11 (2): 327-334
4. Xu Kaidong*, VereeckeGuy, Kesters Els, Le Quoc-Toan, Lux Marcel, Henry Sally-Ann, Kraus Harald, Archer Leo, Mertens Paul, Kovacs Frederic, Dalmer Miachel, Gaulhofer Ernst, Luo Shijian, Han Qingyuan, Berry Ivan; Modifications of Porous Low-N by Plasma Treatments and Wet Cleans, ECS Transactions, 2007, 11 (2): 409-416
5. Xu Kaidong*,VosRita, Vereecke Guy, Doumen Geert, Fyen Wim, Mertens Paul, Heyns Marc, Vinckier Christian, Fransaer Jan, Kovacs Frederic; Fundamental study of the removal mechanisms of nano-sized particles using brush scrubber cleaning, Journal of Vacuum Science & Technology B, 2005, 23(5): 2159-2175.
发明专利
1. Xu Kaidong；WAFER PROCESSING APPARATUS AND METHOD, 2020-03-26, USA, US16/196.349
2. 许开东；一种高密封度的气相腐蚀腔体，2019-12-10，中国，ZL201710564802.9
3. 康斯坦丁·莫吉利尼科夫，许开东；形成具有稳定蒸汽浓度的气液混合物的装置和方法；2019-10-25，中国，ZL201611114997.9
4. 康斯坦丁·莫吉利尼科夫，许开东；气体喷射装置，2019-06-07，中国，ZL201610520818.5
5. 康斯坦丁·莫吉利尼科夫，许开东；样品分析系统以及样品分析方法，2019-05-07，中国，ZL201510751567.7
6. 许开东；一种晶圆切割方法，2019-04-09，中国，ZL201610480927.9
7. 康斯坦丁·莫吉利尼科夫，许开东；样品分析系统以及样品分析方法，2019-01-15，中国，ZL201610225426.6
8. 许开东；一种晶圆切割装置和方法，2018-09-11，中国，ZL201610587172.2
9. 许开东；气相分解沾污收集系统，2018-05-04，中国，ZL201730444773.3
10. 许开东，陈璐，艾尔伯特费尔，巴克拉洛夫；一种机械手臂上结构改良的夹爪，2018-01-09，中国，ZL201610266269.3
获奖及荣誉
1. 2016年，入选江苏省双创团队
2. 2017年，入选江苏省双创个人
3. 2016年，入选徐州市双创个人
4. 2017年，入选“六大高峰人才团队”领军人才
5. 2017年，第五届中国江苏创新创业大赛三等奖
6. 2017年，江苏省领军型新生代企业家培养对象
7. 2019年，江苏省友谊奖