近日，我院半导体课题组在有栅离子源的离子光学系统设计方面取得新进展，相关成果以“Improving Broad-Beam Ion Etching Equipment Through Innovative Ion Optics Design”为题发表在国际制造领域权威期刊《Journal of Manufacturing Processes》（JCR：2区，IF 6.2）上，该论文的第一作者为2020级硕士研究生李星雨，通讯作者为庄仕伟老师。
有栅离子源在微纳制造、航天电推进以及可控核聚变领域都有广泛的应用。离子光学系统则是有栅离子源的核心部件，通常由两层或三层平行的栅网组成，承担了离子束引出、聚焦以及加速功能。课题组针对离子光学系统的核心参数进行了仿真研究，对离子光学系统离子引出机理进行了分析。在此基础上，提出了通过对离子光学系统等离子体面进行倒角处理的新型设计思路。通过引入该设计，能够显著地增加宽束有栅离子源的工作性能，并且在现有工艺体系下能够明显地提高系统的稳定性以及预期寿命，在微纳制造等多个领域的应用具有巨大的潜力和重要意义。
文章链接：https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2023.08.014
作者介绍：
李星雨，江苏师范大学物理与电子工程学院2020级硕士研究生，研究方向为半导体设备及工艺仿真。目前为大连理工大学微电子学院集成电路工程专业2023级博士研究生。
庄仕伟，博士，2013年和2018年于吉林大学分别获得微电子学专业学士学位和微电子学与固体电子学博士学位。现为江苏师范大学教师，主要从事于半导体设备和工艺相关研究，在集成电路领域有多年的研究经验。先后主持或参与国家自然科学基金专项项目、面上项目，江苏省高校自然科学基金，科技部重点专项项目，江苏省产学研项目，多项横向项目。目前在国内外高质量期刊已发表SCI论文近40篇，EI论文多篇，微电子领域国际会议论文多篇，发明专利多项，并担任Journal of Vacuum Science & Technology A, Journal of Alloys and Compounds, Ceramics International, ACS Photonics等多家期刊审稿人。2018年6月，被Journal of Alloys and Compounds期刊评为Outstanding Reviewer。2020年8月，入选江苏省科技副总项目。2020年12月，获徐州市自然科学优秀学术论文二等奖。