报 告 人：谈宜东
报告题目：激光干涉超精密测量技术、仪器及应用
报告时间：2024年5月23日（周四）下午3：30
报告地点：物理与电子工程学院428会议室
主办单位：物理与电子工程学院、科学技术研究院
报告人简介：
谈宜东，清华大学精密仪器系副主任，长聘教授。国家级人才，教育部创新团队负责人，英国皇家学会“牛顿高级学者”，国家自然科学基金优秀青年。主要从事激光技术和精密测量方面的教学科研工作。曾在美国加州理工学院做访问学者。
作为负责人承担基金委、教育部、科技部、装发、科工局和军科委等国家级项目40余项。发表SCI论文100余篇，授权发明专利35项，国际会议Keynote/Plenary/Invited报告40余次。先后获日内瓦国际发明展金奖，国内省部级科技奖励6项（一等奖2项）。担任中国电子信息行业联合会光电产业委员会副会长、中国仪器仪表学会科普工作委员会副主任、中国仪器仪表学会机械量测试仪器分会常务理事等。担任《中国激光》《红外与激光工程》《应用光学》《计测技术》青年编委，《激光技术》《激光与光电子学进展》编委。
报告摘要：
“没有测量就没有科学”，对物理量越来越精确的测量已成为现代科学和技术领域孜孜追求的目标。激光干涉超精密测量具有可溯源，纳米甚至皮米高分辨力，以及数米、几公里甚至上千公里的超长测量范围等突出优点，在IC装备、微纳制造、引力波探测等先进技术和前沿科学等重大领域，应用广泛。本次报告围绕IC装备、航空航天和先进制造中的精密测量需求，介绍了清华大学激光与精密测量应用团队的最新成果和进展，包括：极低非线性误差的激光干涉超精密测量原理、技术及仪器，并介绍了光刻机用干涉仪光源成规模国产替代应用；具有超高灵敏度的激光回馈干涉测量原理、技术及系列仪器，介绍了在若干国家重大工程中的应用。最后总结和展望了该领域的未来发展趋势。